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納米探針Nano Probe

分類：測試服務
發布時間：2022-05-18 16:10:31
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概要:NanoProbing是半導體參數分析領域最新的分析方法。通過在SEM設備里使用并控制納米尺寸探針，提取單個晶體管的電性參數。集成EBAC/EBIC/EBIRCH等多功能失效分析能力。

詳情

　　1、項目定義：

　　NanoProbing是半導體參數分析領域最新的分析方法。通過在SEM設備里使用并控制納米尺寸探針，提取單個晶體管的電性參數。集成EBAC/EBIC/EBIRCH等多功能失效分析能力。
　　適用于新產品開發和失效分析，用于提高良率，質量和可靠性問題、客訴。
　　勝科納米實驗室的Nano Probe探針是中國國內第三方首臺設備，SEM電壓可低至200V，比Hitachi的500V電壓減少晶體管損傷。

　　2、應用領域：

　　8根針配置（測量IV CV曲線測量）
　　SRAM Bit Cell（SRAM電性測量）
　　BEOL Metal/Poly （金屬/多晶硅電阻測量）
　　EBAC/VC/EBIRCH（芯片線路開路/短路定位）
　　EBIC （晶體管pn節成像/漏電定位）
　　High/Low Temp （高低溫環境測試）

　　3、應用優勢：

　　200V電子束，不同尺寸的8探針，IV&CV曲線，最小電流10pA，配置EBAC/EBIC/EBIRCH。低電壓可減少SEM電子束對晶體管的損傷，扎針金屬線/Contact/Poly，滿足客戶實現先進工藝的單個晶體管測量、金屬線開路、芯片電容漏電定位、晶體管截面扎針、電容截面電極扎針等需求。

　　4、應用案例：

關鍵詞： Labless

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