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上機觀察SAT/C-SAM

分類：測試服務
發布時間：2022-05-18 16:17:52
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概要:

詳情

　一、項目介紹

C-模式掃描聲學顯微鏡，通過超聲波穿透塑料封裝和陶瓷封裝體，用于探測樣品內部分層delaminationg或者空穴void等缺陷。不同頻率的探頭有不同的穿透深度，通過控制超聲波的聚焦深度可以掃描不同界面，同時配合反射式C-SAM和穿透式Through Scan兩種工作模式。該設備具有10MHz-230 MHz多種尺寸，掃描模式有A-Scan、B- Scan、C -Scan、Q-BAM、T- Scan，配套的灰度識別和像素點計算軟件為DIA軟件。無損分析，可快速檢測內部分層、空洞、裂紋等缺陷。

勝科納米SEM項目可分為中階與高階上機觀察，下面我們將分別介紹：

　　1、中階SEM：

　　（1）項目介紹：

日立SU5000常規掃描電鏡，通過掃描樣品并收集二次電子，創建了顯示表面的形貌圖像。非導電樣品也可以使用日立SU5000，通過調節SEM腔體的真空度，在樣品的表面附件引入了帶正電的分子。這些分子與充電電子相互作用并中和它們，從而消除這種充電效應。然而在真空室中引入的空氣分子與初級電子相互作用，降低了圖像的質量。

　　（2）應用優勢：

　　日立SU5000具有肖特基熱場分辨率，3.0nm@1KV，放大倍率10x~80kx，可變動真空腔300pa，樣品臺長寬高100*50*65mm，SE+BSE多探頭同時使用，調整真空無須噴金，研磨LonMill制備可直接SEM，可做樣品成像拍照，不能鍍金的樣品可直接SEM。

　　2、高階SEM：

　　（1）項目介紹：

日立SU8230是一款具有超高分辨率的冷場場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)，通過掃描樣品并使用特殊檢測器手機被發射的二次電子，創建了顯示表面的形貌圖像。

　　（2）應用優勢：

　　相對于以往的型號，SU8230的探針電流有了大幅提高，電流穩定性得到了極大增強，其穩定的束流可滿足長時間下的分析需求，同時極低的著陸電壓最大程度的避免了電子束對樣品表面的損傷，實現連續長時間高分辨和觀察分析能力。冷場減少電子束積碳污染，比TEM有更多表面形貌信息。適合觀察單個晶體管，FA分析標配。

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