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透射電子顯微鏡TEM

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透射電子顯微鏡TEM

  • 分類:測試服務
  • 發布時間:2022-05-18 16:21:13
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概要:
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詳情

  1、項目介紹:

 

  TEM透射電鏡的分辨率比光學顯微鏡高得很多,電子束穿過超薄樣品后投射在TEM成像探測器上。包括TEM(投影)和STEM(電子束掃描)兩種成像模式,可分析物質的精細結構、原子排列、化學特性、晶體方向等。

 

  2、應用優勢:

 

  200kV電子源,分辨率0.12nm,放大倍率150X-230MX,Dual-XEDX探頭分辨率高,可實現高分辨STEM成像,EDX定量更準確。滿足單個晶體管成像,薄膜厚度精確測量,OLED有機物成像&分布,設備多,實現每天30顆產能。

 

  3、其他服務:

 

  (1)針對硅基/玻璃基樣品、FIB制備、In-situ制備、Ex-situ制備,可實現樣品平面PV+截面XS,不同尺寸分析;滿足單個晶體管制備,指定失效位置制備,任意位置制備、超薄<30nm樣品制備。

  (2)針對三五族GaNGaAsInp樣品、FIB制備、In-situ制備、Ex-situ制備,實現樣品平面PV+截面XS,不同尺寸分析;滿足指定失效位置制備,任意位置制備、超薄<30nm樣品制備,超大>30nm樣品制備。

 

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