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原力電子顯微鏡AFM

概要:

詳情

　　1、項目介紹：

　　原子力顯微鏡通過檢測待測樣品表面和微小探針之間極微弱的原子間相互作用力，來研究物質的表面形貌、結構及性質。該儀器對樣品表面粗糙度的分析有極高的分辨率，可達原子或接近原子級別。除此之外，原子力顯微鏡還可以在不同的模式下對材料進行各種定量分析。

　　2、應用優勢：

　　最小至0.1nm 垂直分辨率，多種應用模塊擴展，滿足不同測試需求；真空吸附樣品臺，最大可測量12英寸硅片無需破壞性切割，輕敲模式測試，可適應柔性樣品表面。

　　（1）表面形貌和表面粗糙度

　　AFM可以顯示表面成像拓撲和表面粗糙度值。AFM可以顯示表面成像拓撲和表面粗糙度值。粗糙度范圍從幾百納米（nm）到幾埃（Å ）石英表面超平滑，Ra = 0.16nm，AFM能夠顯示表面上的小特征。

　　（2）納米壓痕Nanoindentation

　　壓痕是確定樣品的機械性能，如硬度或模量的常用工具。借助于AFM系統上的金剛石探頭，它可以納入極小體積的樣品，以獲得有價值的數據。AFM還可以進行納米劃痕和磨損試驗，以研究膜的粘附性和耐久性。

（3）導電原子力顯微鏡 C-AFM

導電探針以接觸模式對樣品表面進行掃描，當樣品臺被施加相應的正負偏壓時，樣品臺，導電樣品及探針之間將會形成電流，掃描可得與表面形貌相對應的導電圖像。通過改變偏壓大小，也可獲得針對漏電點的電流—電壓曲線。電流測試范圍： 10pA - 1uA，偏壓范圍： -1V – 1V。

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