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俄歇電子能譜AES

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俄歇電子能譜AES

  • 分類：測試服務
  • 發布時間：2022-05-18 16:51:31
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概要:
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詳情

　　1、項目介紹：

 

　　俄歇電子能譜儀利用荷能電子束激發樣品表面原子產生的俄歇電子，來對樣品表面元素進行鑒別與定量分析。同 時，在檢測原子序數較小的元素時，該儀器具有高靈敏度，且有極佳的空間分辨率，常用于樣品表面的微區分 析。借助于離子束的剝蝕，俄歇電子能譜儀還能實現量化的深度剖析，并廣泛應用于薄膜各層及界面的分析。

 

　　2、應用優勢：

 

（1）基體效應小，易于定量；

（2）成像分辨率高，~10nm

 

　　3、局限：

 

　　（1）化學態信息有限

　　（2）分析絕緣體較困難

　　（3）無法檢測H及He

　　（4）樣品須滿足超高真空條件

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