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原子力顯微鏡AFM

概要:

詳情

　　1、項目介紹 Introduction：

　　原子力顯微鏡（AFM）是一種具有極好的垂直分辨率（亞納米）的掃描探針顯微鏡。它是研究表面拓撲和表面粗糙度值的強大工具。通過隧道式AFM（TUNA）和納米壓痕的應用模塊，可以測量電氣和機械性能。

　　2、分析指標Specifications

　　垂直分辨率0.1nm

　　最佳橫向分辨率7nm

　　最大掃描面積80um x 80um

　　TUNA 10pA - 10uA的電流范圍

　　力范圍在Nanoindentation 1-100uN

　　3、應用案例

　　（1）表面形貌和表面粗糙度

　　（2）納米壓痕Nanoindentation

　　壓痕是確定樣品的機械性能，如硬度或模量的常用工具。借助于AFM系統上的金剛石探頭，它可以納入極小體積的樣品，以獲得有價值的數據。 AFM還可以進行納米劃痕和磨損試驗，以研究膜的粘附性和耐久性。

　　（3）導電原子力顯微鏡 C-AFM

　　通過樣品卡盤向樣品施加一定電壓。當AFM尖端接地時，如果導體有流過樣品的電流。電流映射可以與形貌一起獲得。

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